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发布人:深圳方寸达科技有限公司
发布日期:2026/4/9 21:04:05
派瑞林CVD(Parylene CVD,Chemical Vapor Deposition)是一种在真空环境下进行的高精度薄膜沉积技术,广泛应用于电子、医疗器械、传感器及高端精密设备领域。
该工艺通过气相反应,在材料表面沉积形成一层均匀、致密且无针孔的超薄聚合物薄膜,用于实现绝缘、防潮、防腐及长期可靠性保护。
与传统喷涂或浸涂方式不同,派瑞林CVD属于气相沉积工艺,能够在复杂结构表面实现真正意义上的“共形涂覆”。
1.升华: 固态派瑞林原料在蒸发腔内吸热升华;
2.裂解: 升华后的气体进入裂解腔,在高温下形成活性单体;
3.沉积: 裂解后的活性单体被送入室温的真空沉积罐,在工件表面沉积聚合,形成一层致密的派瑞林防护涂层。

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