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一、产品核心信息

产品名称：四氟化碳（别名：四氟甲烷、全氟化碳、R14、PFC-14）

英文名称：Carbon Tetrafluoride / Tetrafluoromethane

CAS号：75-73-0

分子式：CF₄

分子量：88.00

二、理化性质

- 外观状态：常温常压下 无色、无味、无毒、不燃 惰性气体

- 关键参数：- 熔点：-183.6℃；沸点：-128.1℃

- 液体密度（-130℃）：1.613g/cm³ 

- 临界温度：-45.67℃；临界压力：3.74MPa 

- 相对蒸气密度（空气=1）：3.04

- 溶解性：不溶于水，可溶于苯、氯仿等有机溶剂

- 稳定特性：- 化学稳定性极强，900℃以下不与酸、碱、氧化剂及Cu、Ni、W、Mo等金属反应

- 绝缘性优异，介电强度为空气的3~4倍

- 全球变暖潜势（GWP）：620（CO₂=1）

三、核心优势

- 超高纯度：工业级至7N级（99.99999%）全覆盖，金属杂质低至ppb级

- 蚀刻精准：等离子态下选择性强、各向异性好，适配纳米级精密制程

- 惰性安全：不燃不爆、低腐蚀、常温稳定，储运与使用安全性高

- 应用广谱：贯穿半导体、显示、光伏、制冷、航天、科研等高端领域

- 性能稳定：C-F键牢固，高温/高压下不易分解，工艺一致性强

四、主要应用领域

1. 半导体/微电子（核心）

- 等离子蚀刻：硅（Si）、二氧化硅（SiO₂）、氮化硅（Si₃N₄）、磷硅玻璃（PSG）、钨（W）薄膜蚀刻

- 晶圆清洗：器件表面去污、光刻胶剥离、腔体清洁

- 集成电路/芯片：5nm/7nm先进制程、DRAM/Flash制造的关键蚀刻气体

2. 显示面板（LCD/OLED）

- TFT阵列、氮化硅/氧化硅层精准刻蚀，保障像素开关精度

- 面板封装惰性保护气，隔绝水汽氧气，延长寿命

3. 光伏太阳能

- 电池片减反膜刻蚀/清洗、PECVD工艺气体、硅片表面处理

4. 超低温制冷（R14）

- -100℃~-150℃超低温制冷剂，用于超导、科研、医疗深冷设备 

5. 航天航空

- 火箭姿控推进剂添加剂、卫星管路高压绝缘/防漏、舱内绝缘（替代SF₆）

6. 其他领域

- 标准气体：大气监测、仪器校准、温室气体标样

- 金属冶炼：铜、不锈钢、铝等冶炼的惰性保护气

- 电子绝缘：高压电器、激光设备绝缘介质

- 泄漏检测：精密器件示踪检漏剂

五、产品规格（纯度/杂质）

- 工业级：≥99.99%（4N）；H₂O≤10ppm，O₂+N₂≤100ppm

- 电子级：≥99.999%（5N）~99.9999%（6N）；金属杂质≤1ppm

- 光纤/光伏级：≥99.9999%（6N）；杂质≤100ppb

- 7N超高纯级：≥99.99999%；金属杂质＜50ppb，水分≤1ppb

六、包装与储运

- 包装：- 高压无缝钢瓶：4L/8L/10L/40L/47L/48.8L 

- 充装量：2.5kg/5kg/30kg/32kg，压力12.5~14MPa 

- 阀门：CGA580/590、QF-2、DISS 

- 储存：- 阴凉、干燥、通风库房，温度≤30℃

- 远离热源、火源、氧化剂，严禁暴晒/撞击

- 空/满瓶分区存放，固定防倾倒

- 运输：- 危险货物编号：22033；UN1982；2.2类非易燃无毒气体

- 轻装轻卸，避免剧烈震动，防雨防潮

七、安全与防护

- 危险性：- 高浓度可窒息（缺氧）

- 高温/电弧下分解产生有毒氟化物

- 钢瓶高压泄漏易冻伤、冲击伤人

- 防护：- 强制通风，佩戴正压式呼吸器、护目镜、防化手套

- 严禁明火、静电、火花，防静电服/工具

- 急救：- 吸入：移至新鲜空气，吸氧，就医

- 皮肤/眼接触：大量清水冲洗≥15分钟，就医

- 泄漏处理：- 切断气源，强制通风，人员撤离至上风

- 高浓度区域禁入，回收/火炬焚烧处理

八、供应与服务

- 现货充足：4N~7N全规格，小批量试样、大批量稳定供货

- 技术支持：提供MSDS、COA、工艺适配方案、专属技术对接

- 物流保障：全国危险品物流，温控/防潮/防震，安全准时送达